Условие задачи
Расскажите о роли и методах изоляции элементов интегральных схем.
Ответ
Вследствие того, что все активные и пассивные компоненты расположены в одном кристалле, между ними существуют не предусмотренные электрической схемой резистивные и емкостные связи. Поэтому одной из главных проблем при создании полупроводниковых ИМС является проблема изоляции элементов с целью устранения паразитных связей. Существует три метода изоляции: с помощью обратно смещенных р-n-переходов, изоляция диэлектриком и их комбинацией.
Изолирующие р-n-переходы (стандартный метод разделительной диффузии...