Что такое фотолитография? Опишите факторы, ограничивающие минимальный топологический размер. Литографией называется процесс формирования на поверхности подложки

Литографией называется процесс формирования на поверхности подложки с помощью чувствительного материала защитного рельефного покрытия с изображением элементов топологии и последующего переноса изображения на подложку. В зависимости от длины волны применяемого излучения различают оптическую (фотолитографию), рентгеновскую (0,110 нм), электронную (0,1 нм) и ионную литографию (0,10,5 нм). Фотолитография в свою очередь использует ближнее ультрафиолетовое излучение (360450 нм), среднее ультрафиолетовое излучение (300360) и дальнее ультрафиолетовое излучение (100300 нм). Фотолитография, использующая...