Опишите принцип и изготовление интегрального МДП транзистора. Технология изготовления МДП ИС значительно проще технологии изготовления биполярных интегральных схем.

Технология изготовления МДП ИС значительно проще технологии изготовления биполярных интегральных схем. Так, число основных технологических операций примерно на 30 % меньше, чем при изготовлении и биполярных ИС.

Наибольший практический интерес представляет изопланарная технология изготовления МДП-структур, особенностью которой является изоляция МДП-структур толстым слоем оксида кремния. Применение этой т...