Понятие наноэлектроники и ее особенности. Термины «наноэлектроника» и «наноэлектронные технологии» используется часто в двояком смысле.

Термины наноэлектроника и наноэлектронные технологии используется часто в двояком смысле. С одной стороны, под наноэлектроникой понимают продукт эволюционного развития микроэлектронной транзисторной (главным образом, КМОП) технологии на основе кремния в сторону дальнейшей миниатюризации и увеличения степени интеграции. С другой стороны, часто под наноэлектроникой подразумеваются приборы, основанные на принципах, материалах и конфигурациях, отличных от стандартных КМОП технологий.

Будем иметь в виду, главным образом, первый аспект, понимая под наноэлектроникой продукт эволюционного развития микр...