1. Главная
  2. Библиотека
  3. Электроника, электротехника, радиотехника
  4. В процессе изготовления полевого транзистора осуществля...
Разбор задачи

В процессе изготовления полевого транзистора осуществляется анизотропное травление слоя поликристаллического кремния толщиной 0,3 мкм, покрывающего ступеньку изолирующего окисла заданной толщины с подслоем подзатворного окисла толщиной 0,05 мкм.

  • Предмет: Электроника, электротехника, радиотехника
  • Автор: Кэмп
  • #Полупроводниковые приборы
  • #Технология монтажа радиоэлектронной аппаратуры
В процессе изготовления полевого транзистора осуществляется анизотропное травление слоя поликристаллического кремния толщиной 0,3 мкм, покрывающего ступеньку изолирующего окисла заданной толщины с подслоем подзатворного окисла толщиной 0,05 мкм.

Условие:

В процессе изготовления полевого транзистора осуществляется анизотропное травление слоя поликристаллического кремния толщиной 0,3 мкм, покрывающего ступеньку изолирующего окисла заданной толщины с подслоем подзатворного окисла толщиной 0,05 мкм. Определить минимальную селективность травления для полного стравливания кремниевой пленки, если считать, что пленка однородна по толщине и однородно травится.

Решение:

1. Дано

  1. Толщина слоя поликристаллического кремния (Si): hSi=0,3h_{Si} = 0,3 мкм.
  2. Толщина подслоя подзатворного окисла (SiO2_2): hox_sub=0,05h_{ox\_sub} = 0,05 мкм.
  3. Толщина изолирующего окисла (SiO2_2): hox_iso=0,3h_{ox\_iso} = 0,3 мкм.
  4. Требуется полностью стравливать кремниевую пленку.

2. Найти

Минимальная селективность травления SSi/oxS_{Si/ox} для полного удаления слоя поликремния.

3. Решение

Шаг 1: Определение понятия селективности травления

Селективность травления (SS) — это отношение скоростей травления двух разных материалов. В данном случае нас интересует селективность тра...

Внутри — полный разбор, аргументация, алгоритм решения, частые ошибки и как отвечать на каверзные вопросы препода, если спросит

Попробуй решить по шагам

Попробуй один шаг и продолжи в режиме обучения или посмотри готовое решение

Какое соотношение толщин слоев является ключевым для определения минимальной селективности травления при полном удалении одного материала и сохранении подлежащего слоя другого?

Что нужно знать по теме:

Что нужно знать по теме

Алгоритм решения

Топ 3 ошибок

Что спросит препод

Выбери предмет