Условие задачи
Определить состав парогазовой смеси, выходящей из диффузионного дозатора с жидким четыреххлористым кремнием (см. рис. 1.1), через который проходит водород под атмосферным давлением. Расход водорода через дозатор J = 0,1 л/мин. Размеры дозатора: S1 = 1 см2, S2 = l см2, h = 10 см. Температура дозатора 20 °С, при данной температуре давление насыщенного пара четыреххлористого кремния составляет ps = 200 мм рт. ст., а коэффициент диффузии паров SiCl4 в водороде D = 3⋅10─ 5 м2/с.
Ответ
Содержание паров четыреххлористого кремния в водороде, выраженное в объемных процентах, составит:
где j плотность диффузионного потока в м3/(м2с).
Для водорода j(Н2) = J/S2. Для четыреххлористого кремния имеем:
Потяни
