Условие задачи
При выращивании высокоомных эпитаксиальных слоёв одним из показателей качества процесса является удельное сопротивление слоя, которое должно составлять 150 ± 15 Ом.см. Качество оценивается по 10 пластинам. Измерения проводятся на каждой пластине в 5 точках. Результаты измерений приведены в таблице. Определите, находится ли процесс в статистически управляемом состоянии, используя два подхода к оценке стандартного отклонения. Сравните полученные результаты. Постройте Х и R карты, определите, находится ли процесс в статистически управляемом состоянии. Рассчитайте индексы воспроизводимости процесса и определите долю брака. Сделайте выводы.
Ответ
Сначала для каждой выборки определяется среднее арифметическое(
) и размах (R) по формулам:
Выполним расчёты и занесём полученные данные в таблицу:
