Условие:
Подобрать типы насосов для установки для роста кристаллов нитрида галлия методом Чохральского с объемом рабочей камеры в 220 л. Рабочий вакуум в камере должен составлять не ниже чем 2,5*10-3 Торр. Время выхода установки на рабочий режим не должно превышать 1 часа. Так же подобрать датчики для измерения вакуума в рабочей камере и на линиях откачки насосов. При подборе насосов и вакуумметров руководствоваться общим бюджетом, не превышающим 600000 рублей. Привести схему вакуумной системы с обозначением всех элементов.
